最初の構造によると、機械式真空ポンプとジェット真空ポンプに分けることができます。 ポンプ吸引容器の容積と真空ポンプを変更するためにさまざまな真空装置で使用されるすべての機械的動作(回転またはスライド)は、一般に機械式真空ポンプと呼ばれます。 機械式容積真空ポンプは、機械式運動によりポンプ室の作業容積を変更し、機械式容積真空ポンプの効果を達成します。 これらのポンプには、往復真空ポンプ、回転機械ポンプ(回転ポンプ、スクリューポンプ、ルーツポンプ、液封ポンプなどを含む)が含まれます。 このタイプのポンプは、機械式ポンプに加えて使用されます。
第二に、動作原理によると、ガス供給真空ポンプとガストラップ真空ポンプに分けることができます。 ガス供給ポンプは、吸引真空ポンプに到達するためにガスを連続的に吸引および吸引できるようにするターゲットです。 真空ポンプには、可変容量真空ポンプと運動量移送ポンプの2種類があります。 ガストラップポンプは、ポンプの内面にガス分子を吸着または凝集させ、それによって容器内のガス分子の量を減らし、吸引の目的を達成する真空ポンプです。 ピストン真空ポンプ、ロータリーベーン真空ポンプ、真空ポンプ、スクリュー真空ポンプ、真空ポンプ、拡散ポンプ注入ポンプ、その他いくつかの典型的なタイプ。




